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安徽貝意克設備技術有限公司

合肥百思新材料研究院

合肥歐萊迪光電科技有限公司

 

 

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  • 產品名稱: 卷對卷石墨烯連續生長設備

  

主要特點

Main feature                         

Ø Under the vacuum condition , a RF power supply acts on the rare gas in the vacuum chamber to form the plasma equivalent glow effect ( PECVD patent of our company ) , and the field energy of the plasma replaces the thermal energy , so that the growth temperature of the graphene is reduced , and the process conditions are improved .

該設備在真空條件下,通過射頻電源作用于真空腔室內的稀薄氣體,形成等離子體等效輝光作用下(本公司PECVD專利),利用等離子體的場能部分代替了熱能,從而降低石墨烯生長溫度,改善工藝條件。

 

Ø Achieve growth of high quality graphene thin films by controlling nucleation and growth of graphene

通過對石墨烯成核與生長的調控實現高品質石墨烯薄膜生長

 

Ø In this method, copper foil is used as a base, motor drives copper foil to move under closed growth condition, and then it passes through the first temperature zone (annealed area). Graphene will deposit on the copper foil on the second, third temperature zone (growth area)and tighten to the roll by the cooling device  該方法使用銅箔作為基底,電機帶動銅箔在密閉生長條件下運動,經過第一溫區(退火區)處理后的銅箔;在第二、第三溫區(生長區)石墨烯將沉積在銅箔上,并通過冷卻裝置后收緊成卷。

 

Ø With the advantages of rapid cooling and continuous growth, and can be used for large-scale growth of graphene with large area and high quality.

相對于現有技術具有快速冷卻、連續生長的優點,可以進行大面積、高質量石墨烯的規模化生長。

 

 技術參數

 


Voltage

輸入電源

· Furnace input AC 208-240V ,50/60 Hz

輸入電壓 110V/220V   50/60 HZ

Power

功率

6KW

Working Temperature

工作溫度

· Max. Temperature: 1200 °C  (< 1 hr)

最高溫度:1200℃(< 1 hr)

· Continuous working temperature: 1100 °C

持續工作溫度:1100℃

Heating Zone

加熱區

· Heating Zone Length:           7.87" ( 200+200+200mm)

 加熱區長度:7.87”( 200+200+200mm)

· Constant Temperature Zone:  15.74 " (400mm. +/-  1ºC )

 恒溫區長度:15.74 " (400mm. +/-  1ºC )

Heating Elements

加熱元件

· Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo

   電阻絲(摻鉬鐵鉻鋁合金)

Processing Tube

爐管

· High purity quartz tube:  100 mm OD x 1700 mm Length

   石英管:100(外徑)*1700(長)mm

Copper foil width

銅箔基底寬度

80mm

Copper foil running rate

銅箔前行速度

8cm/min---50cm/min 可調

Adjustable

RF Signal frequency

射頻信號頻率

13.56MHz±0.005%W

Power output

功率輸出范圍

0-500W

Vacuum Dgree

真空度

10-1Pa 
    

Dimensions

尺寸

280*60*130cm

Warranty

質保

One year limited warranty with lifetime support  (Consumable parts such as processing tubes, and O-rings are not covered by the warranty, please  order replacements at related products below.)

一年質保終身支持(消耗品如爐管,O型圈不在質保范圍內)

Application Note

應用

· Equipped with high precision mass flowmeter in the gas system,can control the gas flow

   氣路系統內部裝有高精度質量流量計可準確的控制氣體流量

· Gas can mix sufficient in required proportion in the  static mixing chamber,

設靜態混氣室,有助于氣體充分混合,按要求配比

· Can match R-T-R laminating & stripping equipment as below:  

配套石墨烯卷對卷覆膜、剝離設備如下圖

 

Details

細節圖片

· Overall structure

整體結構

· District

分區

關鍵詞:

 

 

 

 

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