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安徽貝意克設備技術有限公司

合肥百思新材料研究院

合肥歐萊迪光電科技有限公司

 

 

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  • 產品名稱: 自動RTP快速升溫管式爐BTF-1200C-RTP-100

 

細節展示


 

 
     加熱腔體 加熱效果圖 內外雙管  

 

   

主要特點

 
開啟式RTP快速升溫管式爐是由我公司自主研發的功能強大的加熱設備。該產品采用國際先進制造工藝,造型新穎結構合理,爐體爐管可實現自動分離,爐體上下兩半設計,可以自由打開,安全可靠。爐管尺寸100MM,可以直接放下5英寸的材料。爐膽采用高密度純氧化鋁聚輕纖維材料真空吸附成型,表面涂覆高反射率的超高溫保護涂層,不僅能夠保持其能量的最低損耗,還能增強高溫穩定性,可有效減少熱能損耗。試樣反應區處在一個密閉的石英腔體內,在完美完成生產工藝的同時,也大大降低了間接污染試樣的可能性。并已廣泛用于半導體器件研發及生產等領域,該系統可滿足離子注入后的快速退火,也可用于歐姆接觸快速合金,還可用于硅化物合金退火,氧化物生長,以及銅銦鎵硒光伏應用中的硒沉積等快速熱處理工藝場合。采用雙管設計,是制作石墨烯最好的方法,爐體和爐管可以自由滑動,氣體和溫度及真空之間可以同步控制,可以同時實現自動化工藝,配上電腦可以對溫度、真空和氣體流量實現控制。由于可以實現系統化控制,對于操作和實驗的重復性會非常有幫助。該設備是實驗室必備的一款設備。
   
技術參數
  
項目
主要技術指標
參數
規格型號
BTF-1200C-RTP-100
 
溫度控制
最高溫度點
1200
額定溫度
1100
穩定狀態溫度范圍
1001050
溫度測量精度
±0.2
溫度控制重復性
±1
溫度控制精確度
±1
溫場均勻性
±2
溫度狀態工藝時間
1001050
最快升溫速率
30/S(可根據客戶需求定制)
降溫速率
1300,可以采用打開爐體降溫或移除爐管降溫同時啟動流量計閥控控制氣體冷卻
溫度控制模式
智能模糊全閉環控制
 
觸摸屏尺寸
7"LCD 工控電腦
物理指標
最大功率(KW
16
額定電壓
AC380V 50HZ
傳感器類型
K
反應腔室外徑尺寸
Φ100×580
式樣有效空間
3''
抽氣端口尺寸
KF25
供氣口尺寸
Φ6mm雙卡套
冷卻方式
自然冷卻或強迫風冷N2或壓縮空氣:2psi0.14kg/cm2– 7psi0.5kg/cm2
外形凈尺寸
920×500×560mm
重量
80Kg

 

關鍵詞:

 

 

 

 

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